แผ่นยางซิลิโคนของเครื่องเคลือบสูญญากาศเป็นส่วนประกอบสำคัญที่ช่วยให้การเคลือบมีประสิทธิภาพและสม่ำเสมอ การบำรุงรักษาเป็นสิ่งสำคัญเพื่อยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์และปรับปรุงคุณภาพการผลิต ก่อนอื่น จำเป็นต้องทำความสะอาดพื้นผิวของแผ่นยางซิลิโคนเป็นประจำ เมื่อทำความสะอาด ให้ใช้ผ้าเนื้อนุ่มชุบผงซักฟอกที่เป็นกลางเช็ดเบาๆ และหลีกเลี่ยงการใช้ผงซักฟอกที่มีกรดหรือด่างเข้มข้นเพื่อป้องกันไม่ให้วัสดุยางซิลิโคนเสียหาย
ประการที่สอง ตรวจสอบเป็นประจำว่ามีปัญหาเช่นการสึกหรอ รอยแตกร้าว หรือการเสียรูปบนพื้นผิวของแผ่นยางซิลิโคนหรือไม่ หากพบปัญหาเหล่านี้ ควรเปลี่ยนแผ่นยางซิลิโคนทันทีเพื่อหลีกเลี่ยงการส่งผลต่อเอฟเฟกต์การเคลือบ นอกจากนี้ หลังการใช้งานแต่ละครั้ง ขอแนะนำให้วางแผ่นยางซิลิโคนในสภาพแวดล้อมที่แห้งและเย็น เพื่อหลีกเลี่ยงการเสื่อมสภาพเนื่องจากความร้อนหรือความชื้นที่มากเกินไป
สุดท้าย ให้ควบคุมอุณหภูมิและแรงดันของเครื่องเคลือบอย่างเหมาะสม เพื่อหลีกเลี่ยงความเสียหายต่อแผ่นยางซิลิโคนที่ไม่สามารถย้อนกลับได้อันเนื่องมาจากอุณหภูมิหรือแรงดันที่มากเกินไป การบำรุงรักษาประจำวันเหล่านี้เท่านั้นที่จะทำให้มั่นใจได้ว่าแผ่นยางซิลิโคนจะมีสมรรถนะที่เสถียรในระยะยาว จึงช่วยปกป้องกระบวนการผลิตได้อย่างน่าเชื่อถือ